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從分米波直到毫米波波段的信號發生器。信號通常由帶分布參數諧振腔的超高頻三極管和反射速調管產生，但有逐漸被微波晶體管、場效應管和耿氏二極管等固體器件取代的趨勢。儀器一般靠機械調諧腔體來改變頻率，每臺可覆蓋一個倍頻程左右，由腔體耦合出的信號功率一般可達10毫瓦以上。簡易信號源只要求能加1000赫方波調幅，而標準信號發生器則能將輸出基準電平調節到1毫瓦，再從后隨衰減器讀出信號電平的分貝毫瓦值;還必須有內部或外加矩形脈沖調幅，以便測試雷達等接收機。
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